感应加热电源经历了20世纪20年代的发电机组与真空管发生器，60年代初的晶闸管（SCR）发生器，80年代初的晶体管发生器，直到90年代中期的现代功率晶体管（IGBT、MOSFET等）发生器这样一个发展过程。

小型感应加热电源的频率范围很广，大致对频率低于10kHz以下的电源称中频感应加热电源，频率在10~100kHz之间的称为超音频感应加热电源，频率高于100kHz的称高频感应加热电源。按照功率器件SCR，MOSFET和IGBT的频率特性及功率容量来看，SCR主要应用于中频感应加热，就目前IGBT感应加热电源的制造水平来看，国际上达到了1200kW/180kHz，国内为10000 kW/50kHz，MOSFET感应加热电源的制造水平国际为2000kW/400kHz，国内为10~250kW/50~400kHz，1800kW / 150kHz。